ラムリサーチ、NIMSの研究プロジェクトを支援:中国人研究者・達博博士の...
ラムリサーチが、国立研究開発法人物質・材料研究機構(NIMS)における達博博士を中心とした半導体材料の研究プロジェクトへの特別寄付を発表しました。この支援は、最先端半導体の製造に不可欠なエッチング装置関連の研究開発と実用化を加速させるものです。概要ラムリサーチは、日本および北米において、国立研究開発法人物質・材料研究機構(NIMS)への特別寄付を発表しました。この寄付により、達博博士が主導する最先端半導体の製造に用いられるエッチング装置に関するプラズマにさらされる重要材料やコア部品の研究開発と実用化...

